一、仪器简介
扫描电子显微镜(SEM)是利用收集电子束打出的二次电子和背散射电子的信号从而获取样品表面的形貌,组成,晶体结构的一种分析仪器。它拥有高放大倍数、高分辨率的特点,是一种非常高效常用的测试工具。
二、仪器参数
型号:Zeiss Gemini 360
加速电压:0.02kV~30kV
放大倍数:8~2000000倍
最高分辨率:0.7nm
旋转角:-4~70°
三、工艺能力
仪器放大倍数在8-200万倍,常规样品放大倍数可达8-10万倍,导电性不好的样品大于8万倍可能会看不清晰(可镀金处理),旋转角度可达-4~70°,方便看物体侧面或截面。
非磁性,磁性,强磁性样品均可拍摄,为了拍摄效果,强磁性样品最好镀金后观察。
四、样品要求
块状样品:样品尺寸在3mm至6英寸之间
液体样品:样品量大于1ml
粉末样品:样品量≥2mg
磁性及导电性较差样品,测试前会进行喷金处理。
五、结果展示
80000倍下的锡球 70000倍下的粉末颗粒