一、仪器简介

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UVISEL Plus椭圆偏振光谱仪为先进薄膜、表面和界面表征提供了模块化和性能的优化组合。

UVISEL Plus作为一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型，采用了PEM 相位调制技术，与机械旋转部件技术相比，能提供更好的稳定性和信噪比。集成了全新的FastAcq^TM快速采集技术，可在3分钟以内实现高分辨的样品测试，校准仅需几分钟。基于全新的电子设备，数据处理和高速单色仪，FastAcq技术能够为用户提供高分辨及快速的数据采集。

二、仪器参数

品牌：HORIBA

型号：UVISEL PLUS

三、工艺能力

1、可以探测到极薄膜或界面，可表征的膜层厚度，从1A到50 µm

2、可实现高分辨的样品测试，光谱范围从190nm到2100nm。

3、可测试表面和界面粗糙度、光学常数 (折射率n,消光系数k)、光学特性、材料性能

四、样品要求

样品的测试面透光，非测试面不反光，纯金属不可以测试，薄膜要长在晶圆或蓝宝石上。

五、结果展示 

      SiO₂/Si拟合结果                                                                                                                SiO₂/Si折射率