一、仪器简介

半导体参数分析仪（4200A-SCS）是一款可定制、全面集成的分析仪，可同时进行电流电压(I-V)、电容电压(C-V)和超快速脉冲式（I-V）电学测试。使用其可选的4200A-CVIV多通道开关模块，可轻松地在I-V和C-V测量之间切换，而无需重新布线或抬起探针。4200A-SCS 是最高性能的分析仪，可用于加快材料研究、半导体器件设计、工艺开发或生产的复杂器件的测试。

二、仪器参数

品牌：Keithley

型号：4200A-SCS

直流电流-电压（I-V）范围：10aA-1A，0.2µV-210V

电容-电压（C-V）范围：1kHz-10MHz，±30V直流偏置

脉冲I-V范围：±40V(80Vp-p)，±800mA，200MSa/s，5ns采样率

三、工艺能力

I-V源测量单元（SMU）

· ±210V/100mA或±210V/1A模块

· 100fA测量分辨率

· 前端放大器提供了0.1fA测量分辨率

· 10mHz-10Hz超低频率电容测量

· 四象限操作

· 2线或4线连接

C-V多频率电容单元（CVU）

· AC阻抗测量(C-V，C-f，C-t)

· 1kHz-10MHz频率范围

· ±30V（60V差分）内置DC偏置源，可以扩展到± 210V(420V差分)

· CVIV多功能开关，在I-V测量和C-V测量之间简便切换

脉冲式I-V超快速脉冲测量单元（PMU）

· 两个独立的或同步的高速脉冲I-V源和测量通道

· 200MSa/s，5ns采样率

· ±40V(80V_p-p)，±800mA

· 瞬态波形捕获模式

· 任意波形发生器Segment ARB®模式，支持多电平脉冲波形，10ns可编程分辨率

高压脉冲发生器单元（PGU）

· 两个高速脉冲电压源通道

· ±40V(80V_p-p)，±800mA

任意波形发生器Segment ARB®模式，支持多电平脉冲波形，10ns可编程分辨率

四、样品要求

6英寸及6英寸以下各种规格晶圆，以及单个芯片。

五、结果展示

C-V example                                                                                                                       I-V example