一、仪器简介

聚焦离子束（FIB，Focused Ion beam)是将离子源产生的离子束加速、聚焦后作用于样品表面实现对材料进行纳米加工，配合扫描电镜（SEM）实时观察。

二、仪器参数

型号：Thermoscientific Helios 5 CX

分辨率：0.6 nm

沉积材料：W、C、Pt沉积

加速电压：0.2kv-30kv

样品最大高度：最大85mm

三、工艺能力

1、电子成像

2、材料和器件的蚀刻、沉积、离子注入等加工

3、透射电子显微镜样片制作

4、各种微纳米结构的制备

5、EDX成分分析

四、样品要求

样品类型：非磁性块体、粉末材料、纳米线。

样品卫生：如无特殊要求，样品必须用丙酮、酒精超声波清洗，保证样品表面清洁。如果不能超声波清洗，须用高压气体清洗样品表面。

样品尺寸及重量：保证样品表面平整，如无特殊要求，样品须用5000号、7000号砂纸磨过，最好做过电解抛光或者机械抛光。长*宽<100*100mm，高<20mm，重量<200g。

五、结果展示

观察器件立面                                                                                        Pt沉积切割